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掺氯氧化可使氧化物缺陷密度显著减少，但温度低于1000℃时，氯的钝化效果差。一般的栅氧化工艺采取两步氧化法：

A. 800℃~900℃，N2+HCl氧化；升温到1000~1100℃，O2+HCl退火。
B. 800℃~900℃，O2+HCl氧化；升温到1000~1100℃，N2+HCl退火。
C. 800℃~900℃，O2H+HCl氧化；升温到1000~1100℃，N2+HCl退火。
D. 800℃~900℃，N2+HCl氧化；升温到1000~1100℃，O2H+HCl退火。

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