题目内容

SiO2的热膨胀系数小，是Si的1/5，冷却时易产生微细的裂纹，丧失和作用。

查看答案

搜索结果不匹配？点我反馈

更多问题

掩蔽性质含义是相同情况下，B、P、As等常见杂质在SiO2中的扩散系数其在Si中的扩散系数，SiO2层对这些杂质起到掩蔽作用。

当需要极薄氧化膜时，例如MOSFET的栅氧化制备时，可采用技术。

通过测量SiO2膜的折射率和观察SiO2膜腐蚀速率可以检验SiO2膜的

采用、氧化工艺制备的二氧化硅膜具有更高密度、更高折射率和更低的HF腐蚀速率。