A. 氧化 B. 离子注入 C. 退火 D. 刻蚀
A. 快速热退火 B. 快速热处理 C. 反应离子刻蚀 D. 等离子体刻蚀
A. PN结 B. 方块电阻 C. 结深 D. 击穿电压
A. 高能注入机 B. 低能注入机 C. 大束流注入机 D. 中束流注入机
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