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RTP

A. 快速热退火
B. 快速热处理
C. 反应离子刻蚀
D. 等离子体刻蚀

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sheet resistance的含义是

A. PN结
B. 方块电阻
C. 结深
D. 击穿电压

离子注入机根据能量和束流大小可以分为:

A. 高能注入机
B. 低能注入机
C. 大束流注入机
D. 中束流注入机

退火的作用是:

A. 激活杂质
B. 修复晶格损伤
C. 抑制沟道效应
D. 抑制鸟嘴效应

抑制沟道效应的方法有:

A. 在表面注入一层非晶材料
B. 表面添加一薄层氧化物
C. 破坏表面硅原子的排列(预先浅注入)
D. 将晶圆倾斜一定的角度