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请列举3种以上的常用热氧化方法？为了提高氧化质量和氧化速度一般常采用哪种氧化工艺，请列出并简单说明原因？

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二氧化硅基本结构单元是

A. 正三面体
B. 三面体
C. 正四面体
D. 四面体

二氧化硅存在晶态和非晶态。其中晶态是指氧原子都是桥联氧原子；非晶态是指氧原子多数是非桥联氧原子。热氧化生成的二氧化硅是

A. 晶态
B. 桥联氧原子多
C. 非桥联氧原子多
D. 桥联氧原子和非桥联氧原子各占一半

哪种氧化方法获得的氧化膜质量最好，但氧化速度较慢

A. 水汽氧化
B. 湿氧氧化
C. 干氧氧化
D. 氢氧燃烧氧化

哪种氧化方法获得氧化膜质量最差，但氧化速度较快

A. 干氧氧化
B. 水汽氧化
C. 湿氧氧化
D. 氢氧燃烧氧化