A. 等离子刻蚀 B. 化学气相沉积 C. 等离子增强化学气相沉积 D. 物理化学气相沉积
A. 氢氟酸 B. 硝酸 C. 硫酸 D. NaOH
A. O2 B. N2 CF4 D. F2
A. 亲水性 B. 边缘绝缘性能 C. 硅片厚度 D. 刻蚀减薄量
A. 折射率 B. 厚度 C. 反射率 D. 入射率